沉積設(shè)備用高溫分體氣體流量控制器及流量計

簡要描述：沉積設(shè)備用高溫分體氣體流量控制器及流量計，采用定制的高速比例控制閥，可快速精確測量高溫氣體的質(zhì)量流量，可以以質(zhì)量單位或體積單位顯示流量值，精度0.5%FS。

產(chǎn)品分類

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詳細(xì)介紹

一、產(chǎn)品概述： 沉積設(shè)備用高溫分體氣體流量控制器及流量計

u 可快速精確測量高溫氣體的體積流量/質(zhì)量流量

u 采用定制的高速比例控制閥對介質(zhì)體積流量/質(zhì)量流量進(jìn)行精確控制

u 超大可觸顯示屏，操作方便同時開放模擬輸入輸出和RS-485數(shù)字通訊

u 內(nèi)部無可移動組件和熱元件，通過抗振動測試，對安裝方向不敏感

u 采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下流體仍舊保持層流運(yùn)動

u 提供用戶支持，包括技術(shù)咨詢、快捷的設(shè)備校準(zhǔn)服務(wù)和有條件的終身質(zhì)保。

二、產(chǎn)品應(yīng)用：

-- 已廣泛應(yīng)用于沉積工藝領(lǐng)域，如陶瓷工藝、半導(dǎo)體、光纖等行業(yè)使用高溫氣體的沉積設(shè)備。

-- 多變量測量以及50:1量程可調(diào)比，使得僅用一臺熱式高溫分體氣體質(zhì)量流量控制器及流量計便可取代多臺設(shè)備的功效。

-- 精度0.5%FS、重復(fù)性0.5%及不到200毫秒的控制響應(yīng)時間，確保高溫的過程氣體可以流暢的工作。

三、技術(shù)參數(shù)：沉積設(shè)備用高溫分體氣體流量控制器及流量計

技術(shù) 指標(biāo)	質(zhì)量流量控制器		質(zhì)量流量計
	量程范圍	2SCCM~300SLM
	精度 (調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下)	±0.5%F·S（滿量程）
	重復(fù)精度	±0.5%F·S
	流量控制比 /測量范圍	2%~100%F·S/50：1	1%~100%F·S/100：1
	工作溫度	過流部分：（90~150℃），控制部分：0~70℃
	漏率	＜2×10-9 Pa m3/S
機(jī) 械部件	最大工作壓力	3 MPa / 10MPa
	密封材質(zhì)	氟橡膠、全氟醚、金屬密封
	防護(hù)等級	IP40
	底座材質(zhì)	不銹鋼
	氣路接頭	φ6，φ8，φ10，φ12，卡套、VCR等
電氣性能	單色LCD顯示屏	同時顯示實時流量、設(shè)定流量
	數(shù)字通訊	可選：RS232/485，Modbus協(xié)議、Profibus協(xié)議、DeviceNet協(xié)議
	模擬輸入輸出信號	0~5VDC/4~20mA
	電信號接口	B9孔, RJ11, 5.5×2.1電源快插
	供電電壓	±15VDC，24VDC

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